【日本酸素】半導體製造的高純度氣體精製技術 | 三建產業資訊

一、前言介紹

二、精製設備
2-1 高純度惰性氣體精製設備
2-2 高純度惰性氣體精製設備（CH₄ 去除型）
2-3 高純度氧氣精製設備
2-4 高純度氫氣精製設備
2-5 高純度氫氣精製設備（Getter 式）
2-6 高純度氫氣精製設備（低溫式）
2-7 高純度稀有氣體精製設備（Getter 式）
2-8 高純度氨氣精製設備
2-9 高純度 CO₂ 精製設備
2-10 高純度空氣（Air）精製設備
2-11 Line Purifier（管線型精製設備）

三、高純度氣體精製設備的機型更新
3-1 Puremate-1000 系列
3-2 Puremate-1400 系列
3-3 總結

四、高純度精製技術的研發
4-1 新型吸附劑的開發
4-2 高流速精製技術的開發
4-3 總結

日本酸素株式会社 主任研究員
※舊名：大陽酸素(株)，其為台灣日酸股份有限公司的母公司

1987 年任職於「大陽酸素」，從事半導體用氣體之超高靈敏度分析技術的研發工作。隨後參與AIST氣體分離技術的政府合作研發項目
2004 年因公司合併，調任至大陽日酸株式会社，負責氣體分離與精製技術及相關設備的研發。
並參與開發超高純度氣體精製設備、生質氣體精製設備、CO₂ 回收設備、氫氣精製設備等多項系統。

講者的專業領域為無機氣體之分離、精製與回收技術的研究與開發，在吸附劑、觸媒、MOF（金屬有機骨架）及氣體錯合物等方面擁有豐富的研究成果；並累積了大量TSA／PSA 式氣體分離與精製設備以及半導體用高純度氣體精製設備的開發經驗，同時亦精通高純度氣體分析技術。